Bo mạch in (PCB) CPU điều khiển trạm hiệu năng cao, cấp công nghiệp ASML SVG 99-80266-01 chủ yếu được sản xuất tại Hoa Kỳ. Nó được thiết kế dành riêng cho hệ thống phủ và xử lý quang khắc DUV dòng ASML/SVG 90S cũ. Hoạt động như một đơn vị xử lý cục bộ phi tập trung cho các trạm con xử lý cụ thể—chẳng hạn như mô-đun phủ chất cản quang, nung chồng tấm gia nhiệt hoặc các trạm điều khiển nhiệt độ chất lỏng (FTC)—bo mạch này quản lý các tác vụ đồng bộ hóa quan trọng. Nó chứa các chip EPROM chuyên dụng được tích hợp sẵn với phần mềm độc quyền để điều chỉnh sự phân tán hóa chất chính xác cao và các bước xử lý nhiệt cục bộ trên toàn bộ dây chuyền sản xuất wafer bán dẫn tự động.

Phương tiện lưu trữ phần mềm: Chip EPROM bộ nhớ kép tích hợp trên bo mạch, có khe cắm.

Điện áp hoạt động của mạch logic: +5 V DC

Nguồn cấp điện cho I/O bus ngoại vi: ±15 V DC hoặc +24 V DC

Dòng điện tiêu thụ tối đa của hệ thống: Thông thường dưới 2,5 A

Khoảng nhiệt độ hoạt động: 15°C đến 55°C

Nhiệt độ môi trường bảo quản: -20°C đến 75°C

AnyBus (Cổng thông tin)

Màn hình tần số thấp công nghiệp

Mô-đun đầu vào/đầu ra từ xa (RTU)

Các sản phẩm phụ trợ liên quan đến điều khiển công nghiệp

Máy tính công nghiệp (IPC)

Giao diện người-máy

Bộ điều khiển logic lập trình (PLC)

Ổ cứng dung lượng thấp dành cho mục đích công nghiệp SCSI

6ES7314-1AF11-0AB0

6ES5460-4UA11

25X8164C1L 6

IC693ALG391

6ED1052-1FB00-0BA6

6ES5460-4UA12

IC754VSI12CTD-KJ

IC693MDL753

6SL3210-1KE22-6AP1

6GK7342-5DA03-0XE0

IS210BPPCH1ACA

DS200TCEAG1BTF

6ES7307-1EA00-0AA0

6ES7365-0BA01-0AA0

IS200EPSMG1AED

UMT162-A

6ES7313-6CG04-0AB0

6ES7193-4CB30-0AA0

IC752SPL013

IS200TRPGH1BDE

3TK2824-2BB40

6ES7193-4CE10-0AA0

IC693PWR321AA

IS200TRLYH1BGG

6ES7155-6AU00-0CN0

6ES7350-2AH01-0AE0

IS215VPROH1BE

IS200EPSMG1ADC