Thông tin sản phẩm

DAIHEN FLB-60M-03 0190-19674 là một bo mạch điều khiển vi xử lý công nghiệp độ chính xác cao được tích hợp vào các mạng quản lý năng lượng plasma tần số vô tuyến (RF) cao 60 MHz hiện có. Phần cứng này hoạt động như bộ xử lý tính toán cho các mạng phối hợp tự động, chủ động theo dõi các biến đổi trở kháng phức tạp giữa máy phát RF công nghiệp và buồng xử lý chân không. Bằng cách liên tục thực hiện các thuật toán vòng kín, bo mạch tính toán tọa độ bù thời gian thực, điều chỉnh động cơ và bộ điều chỉnh pha để tối đa hóa truyền tải công suất, giảm thiểu công suất phản xạ và duy trì sự đánh lửa plasma ổn định trong quá trình chế tạo vi mô.

Tần số hoạt động của hệ thống: 60 MHz

Đầu vào nguồn xử lý logic: Lấy điện áp tiêu chuẩn +5 VDC (±5%).

Điện áp đầu vào điều khiển tương tự: Yêu cầu nguồn điện thứ cấp +15 VDC và -15 VDC.

Độ phân giải thu tín hiệu tương tự: Các kênh dữ liệu tương tự sang kỹ thuật số tích hợp sử dụng ma trận chuyển đổi 12 bit.

Nhiệt độ môi trường hoạt động: 15°C đến +40°C

Phạm vi nhiệt độ bảo quản: -10°C đến +60°C

Giới hạn độ ẩm tương đối: 20% đến 80% RH (không ngưng tụ)

EMERSON

ABB

SIEMENS

PR6426-010-000 CON021-916-160

SA801F 3BDH000011R1

6AV6542-0AG10-0AX0

1B30035H01

IMFEC11

6AV2124-0MC01-0AX0

A6210

NI0C01 3BSE005735R1

6ES5314-3UA11

SP1406

SAFT171PAC

6AV3627-1LK00-1AX0

8752-CA-NS-02

PFUK104-YM110002-SD

6DS1200-8BA

PR6423'01K-010 CON021

PFSK101 YM322001-ED

6ES7334-0CE01-0AA0

38B6041X082

HIEE400109R1 HI022755-310 CS A465 AE01

6ES7317-2EK14-0AB0

5X00109G02

NTCF02

6EP1931-2FC21

PR6423-013-010 CON021

PFUK108 YM110001-SH

6ES7332-8TF01-0AB0

HD11010-3A

PM860AK01 3BSE066495R1

6EP3437-8SB00-0AY0

KJ4005X1-BC1 12P4680X032

NDCU-21 63985317B

6ES7321-1BH02-0AA0

5X00790G01

C87-11006

6EP1334-3BA10